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噴膠機(jī)是現(xiàn)代光電子產(chǎn)業(yè)中光刻膠涂布的重要設(shè)備。可對不同尺寸和形狀的基片進(jìn)行涂膠,最大涂膠尺寸達(dá)8寸,得到厚度均勻的光刻膠層,同時(shí)可對大深寬比結(jié)構(gòu)的側(cè)壁進(jìn)行均勻涂膠;通過計(jì)算機(jī)系統(tǒng)控制器進(jìn)行工藝參數(shù)的編輯和操作。
全自動噴膠機(jī)的控制系統(tǒng)方案設(shè)計(jì)和配置。控制系統(tǒng)方案 本控制系統(tǒng)采用研華高集成度的運(yùn)動控制控制器PEC-3240 為核心控制單元。 PEC-3240 采用 Intel Celeron M處理器, 支持 Windows XP Embedded 操作系統(tǒng)。
內(nèi)建4軸運(yùn)動控制和32通道光電隔離的數(shù)字量I/O,集成運(yùn)算、控制、雙網(wǎng)口及串口通信等功能,功能強(qiáng)大,體積 精巧,非常適合于安置在噴膠機(jī)設(shè)備中。全自動噴膠機(jī)的硬件具體配置如下:硬件具體配置如下具體配置如下。
硬件系統(tǒng)架構(gòu)圖上可以看到,控制系統(tǒng)核心采用 PEC-3240,顯示與人機(jī)操作部分采用研華工業(yè)級觸摸顯示器FPM5151G.所用通用型輸入輸出點(diǎn):DI 點(diǎn)共7個(gè),DO點(diǎn)17個(gè),其它為與伺服相關(guān)的輸入輸出點(diǎn)。4臺臺達(dá)伺服驅(qū)動器及電機(jī),與 PEC-3240 上集成的運(yùn)動控制卡連接控制。 其中X,Y 軸為 400W 電機(jī),Z軸為200W電機(jī),U軸為100W電機(jī)。
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